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第47章 光刻机的先进光源
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郭凯文根本不相信陈思思的开题报告能够做的有多好,让陈思思第1个答辩,就是想要敲打一下陈思思,让陈思思能够清醒地认识自己的错误。

陈思思的开题报告可是王奕亲自给她设计的,对于今天的答辩,陈思思充满了信心。

听郭凯文说要让她第1个答辩,陈思思顿时就乐开了花,喜得走到了演讲台上,将做好的PPT拷到了演讲电脑上。

看到陈思思居然还是一脸笑容,郭凯文的心里别提有多恼火了。

不好好学习的渣子,都要上台丢人现眼了,居然还能够恬不知耻的笑出来,真是无药可救。

陈思思打开做好的PPT,白底黑字,没有任何花哨。

郭凯文微微的皱了一下眉头。

PPT做的花哨,起码还证明他用点心了。

像这样白底黑字,连一点修饰都没有,可见她对这一课题是多么的敷衍。

虽然真正搞科研的不需要做太花哨的PPT,但内容空洞,连PPT都做得不好看的话,实在是太不走心了。

不说别的,光是卷面分,郭凯文就给陈思思判了一个不及格。

接下来,陈思思开始她的演讲了:

“大家好,我的课题是光刻机光源的研究。

在光刻技术的发展历程中,科研人员们不断地在探索更短曝光波长的可能性。

上世纪80年代至90年代初期,光刻主要采用高压放电汞灯产生的波长436纳米G线和365纳米I线作为光源。

自上世纪90年代中期后,深紫外光刻技术(DUVL)开始逐渐占据光刻技术的主导地位。

目前,荷烂ASML公司于2018年生产的NXT:2000i产品为现有最高水平的DUV光刻机,结合多次曝光套刻技术可将线宽缩小至7~5纳米……”

陈思思滔滔不绝的介绍了一大堆有关光刻机的知识。

在课题研发初期,主要任务就是收集材料。

王奕帮助陈思思收集的材料极其丰富,已经远远超出了本科生的要求范围,就连博士都做不到这么详细。

郭凯文在下面听着陈思思的演讲,起初的时候根本不把陈思思当回事儿,觉得陈思思说上三分钟就没货了。

岂料陈思思整整说了30分钟。

说到最后,就连郭凯文都傻眼了。

郭凯文作为光刻机研发的主要负责人之一,他也收集了大量光刻机的相关资料。

他自认为自己收集的资料无人能及。

而在陈思思面前,他却发现自己居然不如这个刚刚大三的丫头片子。

之前还想看陈思思出洋相,然后批评教育陈思思一番。

此刻,郭凯文简直想要跪在陈思思的脚下顶礼膜拜,觉得陈思思实在是太具有科研天赋了。

当陈思思的演讲结束之后。

郭凯文羞愧的站起身来,朝着陈思思鞠了个躬,道:

“陈思思同学,实在是抱歉,我为刚才对你的无礼言行发出诚挚的道歉。”

见一向高高在上的导师居然主动向自己道歉,陈思思的心里别提有多么的开心了。

这一切都是王奕的功劳,陈思思决定了,今天晚上回去之后一定要好好地为王奕服务。

道歉结束之后,郭凯文朝着陈思思很郑重的问道:

“陈思思同学,你汇报的内容实在是太丰富了,我暂时有点消化不了,你能给我介绍一下,你觉得哪种光源作为光刻机的新光源最合适呢?”

郭凯文的科研精神还是很值得称赞的,没看懂就说没看懂,不会刻意去装,且还不耻下问,既然询问陈思思这个黄毛丫头如此专业性的问题。

这也是陈思思的能力征服了郭凯文。

能够将光刻机的资料收集得如此丰富,而且还总结的如此到位的学生,其观点是非常值得借鉴的。

陈思思将PPT翻到了倒数第10页,自信的说道:

“刚才我在这里已经讲过了,极紫外波段光源EUV是最有潜力实现大规模工业化和商业化生产的光刻光源。

它可以通过将曝光波长大幅减小一个量级以上来实现更小节点光刻,其一次曝光线宽的数值可达10纳米以内……”

听到陈思思的这个介绍,郭凯文倒吸了一口凉气。

就在前不久,他们光刻机研发课题组召开了一个高层会议,确定EUV光源是最有希望超越国外,成为唐国光刻机弯道超车的重要技术。

只不过,如何更加有效地获得EUV光源成了一个困扰诸多专家的技术难题。

然而如此重要的技术,居然在一个大三的学生口中讲了出来,岂能不让郭凯文感到震惊了?

郭凯文整个人都激动得颤抖了起来,朝着陈思思又问道:

“你知道EUV光源该如何过获得吗?”

在提出了这个问题之后,郭凯文顿时就觉得自己好蠢啊。




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来源4:feilu